说明

这些高真空自动阀采用电空操作原理，采用O形圈轴密封来确保完整性。VM2阀可以在大气压下运行，能够运转一百万次而无需维护。

描述

特点:

• 配备220伏交流50/60 Hz伺服控制电阀和标准IP50电保护。
• 安静的开启和关闭启动。
• 阀门位置显示指示器和位置探测器。
• 氦泄露密封性检测，最低检测泄露低于1 x 10^-6 mbar l s^-1。
• 轴交叉密封真空连接。
• 压力工作范围： 1 x 10^-4 mbar到2,500 mbar。
• 压缩空气操作从5到7 bar.
• 阀体：铝合金。
• 内部：不锈钢和铝。
• 气动致动器：铝致动器。

辅件与选项

应用

特殊设计